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產(chǎn)品詳情

  • 產(chǎn)品名稱：超高分辨場發(fā)射掃描電子顯微鏡

  • 產(chǎn)品型號：Regulus8100
  • 產(chǎn)品廠商：日立
  • 產(chǎn)品文檔：
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簡單介紹：
全新發(fā)布的日立新型場發(fā)射掃描電子顯微鏡（FE-SEM）全新品牌 "Regulus?系列"，機(jī)型包括作為SU8010的后續(xù)機(jī)型開發(fā)的 "Regulus8100" 以及SU8200系列的升級版"Regulus8220" "Regulus8230" "Regulus8240"，共4個機(jī)型，均實現(xiàn)了分辨率和操作性的強(qiáng)化。"Regulus系列" 電子光學(xué)系統(tǒng)進(jìn)行了*優(yōu)化處理，使得著陸電壓在1kV時分辨率較前代機(jī)型提高了約20％。"Regulus8220/8230/8240"達(dá)到0.9nm，"Regulus8100"為1.1 nm的分辨率。另外，*適合低加速電壓下高分辨觀察的冷場電子槍可將樣品的細(xì)節(jié)放大，并獲得高質(zhì)量的圖片。*大放大倍率也由之前的100萬倍提高到了200萬倍。除此之外，為了能更好的應(yīng)對不同樣品的測試和保持并發(fā)揮出高性能，還對用戶輔助工能進(jìn)行了強(qiáng)化，如信號檢測系統(tǒng)的操作輔助功能，維護(hù)輔助
詳情介紹：

    主要特點

    1. 搭載了色差極小的適合低加速電壓高分辨率觀察的冷場電子槍

    2. 跟前代機(jī)型相比分辨率大約提高了20%
      （Regulus8220/8230/8240：0.9 nm/1 kV，Regulus8100：1.1 nm/1 kV）

    3. *大倍率從原來的100萬倍提高到200萬倍*1

    4. 用戶輔助功能，幫助用戶把儀器的高性能完全發(fā)揮出來


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